韓国企業が99.99999999％超高純度フッ化水素の特許を6年前に取得 → 商用化断念で頼みの綱が無くなる

韓国企業が高純度フッ化水素の特許を2011年に出願し2013年に特許を取得していたことがわかった。独自開発された「超高純度」と呼ばれるフッ化水素。そのフッ化水素の特許を取りだし再び商用化出来ないかと独自の商用化を巡って2時間にわたる激論の末に下した結論は「不可」だった。

この会社の代表は、会議の直後、「私たちの技術は、自分が手ごわいコストと高い参入の壁はあの時も今も同じ」と述べた。超高純度フッ化水素を6年前に開発したが、売上高100億ウォン余りの中小企業として、今回もそれ自体商用化は不可能だという判断を下したのだ。

この会社は、半導体工程に使われる超高純度フッ化水素技術を開発したのは2011年。2013年には特許出願まで終えた。フッ化水素の数十種類の不純物の割合を10億分の1までろ過する技術が特許の核心である。
フッ化水素に少量の過酸化水素を入れた後、超音波を撃つろ過する最も困難な不純物除去の一つでありヒ素が多く付着されるようにして純度を高めた技術である。特許の内容を見てみると、日本が輸出を規制している純度99.999％（ファイブナイン）よりはるかに高い99.99999999％（テンナイン）のフッ化水素を7回の実験を介して精製することができることを実証したとメーカー側は主張した。

寝かしておいた特許を再び取り出したのは、最近の日本の輸出規制に高純度フッ化水素が注目されながら商業化の可能性を打診するためだった。しかし代表は「当時も今も、私たちのような小さな中小企業が直接商用化するのは容易ではないようだ」とした。彼はコストと人材のほか、フッ化水素工場を建てる場合は地域住民の反対や、数々の認可を受けなくてはいけないと伝えた。

主にフッ化水素は中国、インド、台湾でも作られているがこれらのフッ化水素は99.9％のいわゆる低純度品。半導体製造工程用のフッ化水素は超高純度で99.9％の100倍の純度の99.999％の日本のフッ化水素が必要となる。
また99.999%以上の超高純度のエッチングガスは日本企業のみが製造可能。
日本は「99.999％以上」と公表しているが、実際の純度は99.9999999999％という「トゥエルブナイン」と呼ばれる限りなく100％に近いものだ。

韓国企業は日本の高純度フッ化水素を99.999％と勘違いしていたようだが、実際は「99.999％以上」であった。

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